金融界2025年7月5日消息黑牛策略，国家知识产权局信息显示，中科纳微真空科技（合肥）有限公司申请一项名为“一种ICP射频天线放电保护离子源”的专利，公开号CN120261248A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提出了一种ICP射频天线放电保护离子源，包括：离子容器、石英内衬、放电电极、以及抽真空系统；离子容器具有生成等离子体的内部空间；石英内衬设置在离子容器内部，以将离子容器内部空间分隔成位于石英内衬内侧的放电腔和位于石英内衬外侧的夹腔；放电电极设置在夹腔内；抽气系统包括两条相互独立的抽气管路，其中一条抽气管路接放电腔，另一条抽气管路接夹腔。本发明通过将放电电极单独隔离放置，并使其所在空间能够单独抽真空，从而隔绝了离子轰击产生的污染，也增大了放电电极的使用寿命。
天眼查资料显示，中科纳微真空科技（合肥）有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1222.826万人民币。通过天眼查大数据分析，中科纳微真空科技（合肥）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目12次，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
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